南京迈塔光电科技有限公司    ScanPro系列    ScanPro Advance高分辨高速多物理量扫描综合测试系统
ScanProAdvance

ScanPro Advance高分辨高速多物理量扫描综合测试系统

高分辨高速多物理量扫描综合测试系统

扫描类型:拉曼光谱,荧光光谱,反射光谱(吸收光谱),电致发光光谱,光电流等

测试环境:液氦/液氮样品台,探针台,热台,真空吸附台

扫描范围:x及y方向各100 μm,最高每秒200数据点

扫描精度:最小点间距50 nm,空间分辨率400 nm


常规光谱Mapping

激光扫描样品区域并使用CCD阵列探测器记录每一点的光谱数据

拉曼光谱Mapping

样品:CVD生长MoS2

扫描范围:10*10 um

点间距:150 nm

扫描时间:40 min

积分范围:370-420 cm-1



荧光光谱Mapping

样品:手撕单层MoS2

扫描范围:9*11 um

点间距:100 nm

扫描时间:20 min

积分范围:660-700 nm

常规拉曼-1常规拉曼-2


常规荧光-2常规荧光-1


高速光谱Mapping

利用高灵敏度单点探测器测量指定波长的Mapping图片

荧光光谱Mapping

样品:CVD生长WS2

扫描范围:23*23 um

点间距:100 nm

扫描时间:7 min

积分范围: 610-630 nm

 

荧光光谱Mapping

样品:CVD生长MoS2

扫描范围:17*20 um

点间距:100 nm

扫描时间:10 min

积分范围: 670-690 nm

高速荧光WS2-1高速荧光WS2-2


高速荧光MoS2-1高速荧光MoS2-2


光电流Mapping

直流光电流Mapping:源表提供背栅和偏压,低噪声前置放大器放大电流后由数据采集卡读数

交流光电流Mapping:源表提供背栅和偏压,低噪声前置放大器放大电流后由锁相放大器锁定信号,数据采集卡读出

光电流仪器-1光电流探针

探针接线,方便使用

光电流-1光电流-2

扫描范围:32*32 um

点间距:200 nm

扫描时间:40 min


Metatest扫描测试软件

光谱直接分析   空间分析

光谱直接分析                                                                    空间分析


Metatest多物理量扫描软件

光谱,波长,电压,电流,频率等多个物理量任意选择组合测试

频率扫描输出曲线

                      频率扫描                                                                  输出曲线

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