南京迈塔光电科技有限公司    E2半导体光电测试探针台    E2半导体光电测试探针台
仪器

E2半导体光电测试探针台

匀强光斑(30 um,60 um),超长工作距离物镜,原位加热模块,高精度微操模块,可替换光源模块,经济超值的价格

1. 主要技术指标:


匀强光斑

5X 10X20X物镜下,光斑尺寸分别为60 um30 um15 um;选配光斑尺寸连续可调模块

四轴样品台

XY方向平移行程12.5 mm,精度0.01 mm,绕z轴手动调节旋转±60°;z轴行程10 mm,精度0.01 mm;加热温度<150 ℃ 精度±1℃

大行程台

XY方向行程25 mm,精度0.01 mm

显微观察

5X10X超长工作距离物镜,31 mm工作距离,800~850倍放大效果

光源种类

LED光源(365~980 nm)、激光光源(375   405 450 520 532 630 670 785 850 904 1047 nm

针座个数

2-4颗,精密燕尾导轨直线操作,5 um定位精度,双同轴


2. 系统细节展示:

系统细节

  探针接线,方便使用                   多种光源,替换方便                       X/Y两轴,大行程                  多轴可控,微距精调


变倍光斑

高清明场(10X,5X)


标准光源395 nm5X物镜10X物镜20X物镜
100%光强LPD(mW/cm2
99.08
339.071189.13
50%光强LPD(mW/cm263.69226.47792.75

光纤口:100%光强为7.4 μW,50% 光强为4.6 μW


3. 多种测试表现

Metatest多物理量参数扫描软件集成控制多种测试设备,实现偏压,背栅,频率,位置,偏振,温度,时间的统一控制,可选多个参数自动扫描测试。包括但不限于转移曲线测试,输出曲线测试,频率响应测试,含光电测试,变温电性能测试等。

频率响应曲线

频率响应曲线


输出曲线             转移曲线

         输出曲线                                                                转移曲线


  光电效应曲线           光强-时间曲线

          光电响应曲线                                                           光强-时间曲线

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