ScanPro-200 光电流扫描测试系统

● 兼容多种测试环境                     

● 高精度扫描，最小点间距50 nm 

● 高速扫描，每秒10-100个数据点

● 最大100×100 μm扫描范围       

1. 细节展示

√统一控制源表，信号发生器，前置电流放大器，锁相放大器，实现多种测试模式

√直流光电流测量模式

√交流光电流测量模式

√同步暗电流扣除测量模式

液氮/液氦冷台                                                真空吸附台                                         高精度探针台

探针接线，方便使用

2. 应用实例

器件照片：                                     光电流Mapping效果图                                        光电流Mapping效果图

扫描范围72*54 um                                    锁相放大器测量                                                          源表测量                

3. Metatest多物理量参量扫描软件

√集成控制多种测试设备，实现偏压，背栅，频率，位置，偏振，温度，时间的统一控制，可选多个参数自动扫描测试

√包括但不限于转移曲线测试，输出曲线测试，频率响应测试，含时光电测试，变温电性能测试等

输出曲线测试

光电响应测试                                                                              频率响应测试