ScanPro-200 光电流扫描测试系统
● 兼容多种测试环境
● 高精度扫描,最小点间距50 nm
● 高速扫描,每秒10-100个数据点
● 最大100×100 μm扫描范围
1. 细节展示
√统一控制源表,信号发生器,前置电流放大器,锁相放大器,实现多种测试模式
√直流光电流测量模式
√交流光电流测量模式
√同步暗电流扣除测量模式
液氮/液氦冷台 真空吸附台 高精度探针台
探针接线,方便使用
2. 应用实例
器件照片: 光电流Mapping效果图 光电流Mapping效果图
扫描范围72*54 um 锁相放大器测量 源表测量
3. Metatest多物理量参量扫描软件
√集成控制多种测试设备,实现偏压,背栅,频率,位置,偏振,温度,时间的统一控制,可选多个参数自动扫描测试
√包括但不限于转移曲线测试,输出曲线测试,频率响应测试,含时光电测试,变温电性能测试等
输出曲线测试
光电响应测试 频率响应测试