E1-T多功能高精度二维材料转移平台

       E1-T多功能高精度二维材料转移系统是低维材料异质结器件转移的商用解决方案，已在国内外众多院士、长江/杰青、青年千人等知名学者实验室得到应用，发表ACS Nano、Nano Energy、AM等高水平论文多篇，适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备，实现了低维材料转移的可视化操作。

       E1-T转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内手动/电动大角度旋转，是研究“魔角超导、异质结空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。高稳定性、高精度的机械设计及高质量的显微成像系统使得小于5μm的微小样品的精确转移得以实现。

主要配置*

标准配置

       显微支架：经过多次改良设计，具有高稳定性，保证设备操作状态下显微成像系统无抖动。同时可进行XY方向两轴平移，行程可达50mm，便于大范围调节显微镜观察位置查找样品。

       显微成像光路系统：由连续可调变倍单筒，同轴照明系统，95mm超长工作距离20倍物镜，变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，标准工作距离90mm，分辨率63-180lp/mm，综合最大放大倍率850~900倍；双固定位设计，高倍放大下图像无明显抖动。1920*1080高灵敏度CMOS显微相机，24英寸全高清专业显示器组成，综合放大倍数可达3500倍（类似金相显微系统45倍物镜放大效果）。可清晰显示硅片上的手撕单层石墨烯样品。提供显微相机操作软件，可进行照片拍摄，录制视频，测量样品尺寸，分屏对比等功能。

     95mm超长工作距离5倍物镜不同倍率下的效果图                    95mm超长工作距离20倍物镜不同倍率下的效果图

        显微观察支架：一体式高稳定性铝材支架，长宽高280mm*100mm* 100mm，重量25kg，支持沿 xy方向 50mm行程，可大范围调节显微镜观察位置。

      载玻片移动平台                                        240℃样品加热台                                           高稳定性显微观察支架    

        转移样品台：XYR三轴可调；XY 方向行程 20mm，系统分辨率0.002mm；绕 z 轴手动调节旋转±90°，测微器精细调节行程5°，调节精度1°左右；

        绕x轴和y 轴倾斜台，调节方式手动转轮，台面厚度20mm，倾斜角度±2°。用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度；

       样品台加热最高温度为240 ℃；

       样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵流量为35L/min。

       载玻片移动平台：XYZ三轴可调，80mm高稳定性不锈钢台面，XY方向行程25mm，测微丝杆控制；Z轴为29mm直径百刻线微分头，便于精细升降操作，升降过程中样品无明显抖动；样品送入手动旋转台，台面直径100mm，粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°，定位精度1~ 2°。

选配功能

选配一：高精度升温模块

       高精度升降温样品台，内置微型风冷，升温速度最大1.5℃/s，可调温度范围室温至240℃；精确PID温度控制，升温速率最低可至0.01℃/s，稳定时温度偏差小于0.01℃。

选配二：磁力吸附探针座及支架

选配三：光纤端面材料转移模块

选配四:手套箱内使用环境安装

       对于某些特殊的对环境要求高的材料如钙钛矿等的转移可配备转移系统手套箱内使用环境安装。

选配五：配套阻尼式光学防震平台

 ☆☆☆其他特殊需求可联系定制。

转移效果实拍图如下：

湿法转移操作步骤

A. 碱溶液中从基底上脱离出样品-PMMA             B. 样品+PMMA薄膜放置在E1系统转移              C. PMMA薄膜脱离转移支架，用丙酮洗去

薄膜，并将薄膜捞取至开口夹具片上                     模块上                                                             MoS2表面覆盖的PMMA

干法转移操作步骤

            A. 机械剥离MoS2样品                             B. 剥离后的MoS2粘附在PDMS上，使用             C. 加热样品，使MoS2脱离PDMS，转移至

                                                                           E1系统的微操模块转移样品                                目标衬底上，完成转移操作

论文设备引用建议标注文字：with the help of accurate transfer platform (Metatest, E1-T) or (Metatest, E1-M)

（神秘惊喜等着你！）

使用迈塔光电E1-T产品的相关文献（部分）：

*Yixuan Zou, Zekun Zhang,……Yidong Tan*, Zheng You*& Peng Li*. High-temperature flexible WSe₂ photo-detectors with ultrahigh photoresponsivity.（2022）Nature_Communications（影响因子17.694）

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合作单位：

高校（国内）：北京大学（4套），清华大学（2套），南京大学（10套），中国科学技术大学（5套），复旦大学（2套），浙江大学（4套），上海交通大学，苏州大学（2套），深圳大学（5套），北京科技大学，电子科技大学（3套），南京工业大学（5套），西北工业大学，华中科技大学（3套），天津理工大学，上海科技大学，湖南大学（2套），云南大学，厦门大学，集美大学，华东师范大学（2套），山东大学，杭州电子科技大学，南方科技大学（2套），安徽大学，武汉理工大学，温州大学，西安工业大学

高校（港澳台地区）：香港大学，香港科技大学，香港城市大学，台湾成功大学，台湾清华大学，澳门大学

高校（国际）：新加坡南洋理工大学（3套），沙特阿拉伯国王大学，印度理工学院

研究所：中科院物理研究所，中科院上海技术物理研究所（2套），中科院微电子所，中科院物理化学研究所，中科院合肥物质研究院，中科院上海光机所，中科院上海应用物理研究所，中科院金属物理研究所，中科院纳米能源所，国家纳米中心，大连化学物理研究所