E1-M高分辨二维材料金相显微转移系统
E1-M适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备,实现了低维材料转移的可视化操作。转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内大角度旋转,是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。高稳定性、高精度的机械设计及高质量的显微成像系统使得小于5μm的微小样品的精确转移得以实现。
E1-M在保留了E1-T优异的转移集成操作的基础上,通过尼康金相显微镜光学系统的升级,极高地提高了单层、多层及各类范德华异质结观察的分辨率及清晰度,整合了观察、转移、成像记录等器件制备的全流程操作。E1-M还拥有众多配置选项,包括样品台高温模块,拉曼测试模块,荧光测试模块等,配套阻尼式光学防震平台,同时支持手套箱内使用环境安装。
主要配置*
衬底载物平台 | XY 方向两轴平移,行程20mm;绕 z 轴手动调节旋转±90°;绕X轴和Y轴倾斜台,倾斜角度±2°;样品台加热最高温度为150℃;样品台带样品真空吸附功能 |
载玻片移动平台 | XY方向两轴平移,行程25mm;Z轴升降滑台,行程10mm;快速旋转进样装置 |
显微镜 | 尼康显微镜镜体,三目镜筒;5倍,10倍,20倍,50倍4个物镜,2个10X目镜 |
显微相机 | 1200 万像素USB3.0 超高清CMOS 显微相机;提供显微相机操作软件 |
照明系统 | 显微镜配套白色LED光源 |
控制机箱 | 系统电学控制集成,控制样品台加热、吸附功能 |
电脑 | i5处理器,8G内存,1T硬盘,23.8英寸高清显示器 |
选配功能 | 载玻片移动平台电动Z轴模块,样品台220-240℃高温模块,手套箱内使用环境安装,配套阻尼式光学防震平台 |
标准配置
E1-M系统包括四个子系统:衬底载物平台调节子系统、载玻片移动平台调节子系统、显微成像子系统、电路控制子系统。
样品台通过钢丝滚珠无间隙导轨提供直线移动,三轴可调;支持沿 XY 方向平移,行程 20mm,系统分辨率0.002mm;绕 z 轴手动调节旋转最大±90°; 绕x轴和y 轴倾斜台,倾斜角度±2°。
载玻片 XYZ三轴可调,行程25mm;样品送入手动旋转台,粗调旋转范围360°,细调旋转范围±5°,定位精度1~2°;
显微成像系统采用尼康金相显微观察系统,配套三目镜筒,5倍,10倍,20倍,50倍4个物镜,2个10X目镜。1200 万像素USB3.0 超高清CMOS 显微相机,提供显微相机操作软件,可进行照片拍摄,录制视频,测量样品尺寸,分屏对比等功能。
载玻片下方样品 载玻片下方样品
普通物镜拍摄 E1-M专用物镜拍摄
选配功能
选配一:明暗场升级
通过对落射照明器及物镜的全面升级,可对标本差异和缺陷进行高分辨率、高灵敏度的检测。
样品在明暗场中的对比图(左图:明场,右图:暗场)
从图像中直观看出:暗场是将明场照明下的对比反差完全颠倒,明场中亮的部分变暗,明场中暗的部分变亮 所得到的成像图。针对纳米线、纳米片或有缺陷、表面不均匀、不平整的样品来说,在暗场下,可以清晰的看清楚样品的轮廓以及表面缺陷等。
选配二:样品台高温模块
样品台加热最高温度为220~240 ℃模块
选配三:载玻片移动平台电动Z轴模块
行程范围20mm,速度范围0.05-2mm/s,最小行程精度0.5um。
应用方向:异质结慢速贴合、手套箱内自动贴合等。
选配四:手套箱内使用环境安装
对于某些特殊的对环境要求高的材料如钙钛矿等的转移可配备转移系统手套箱内使用环境安装。
选配五:配套阻尼式光学防震平台
配套的阻尼式光学防震平台,降低高倍操作下的环境扰动(长宽厚900*600*50mm台面长宽厚600*600*50mm台面等多种规格可选)
☆☆☆E1-M可集成拉曼,荧光光谱测试功能,转移同时测试,该需求可联系定制。
转移效果实拍图
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使用迈塔光电E1-M产品的相关文献(部分):