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网站首页    E系列    E2 光纤耦合光电测试探针台
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E2 光纤耦合光电测试探针台

兼容任意光纤耦合光源,可生成匀强光斑或者聚焦光斑,多种可选模块

       E2 光纤耦合光电测试探针台作为为高性价比光电测试用探针台,除了具有常规探针台的全部功能以外,还拥有适合多种测试条件的光学光路。不仅可以使用波段从紫外到红外,类型包含激光器,氙灯,LED 等多种形式的光源照射样品,还拥有聚焦照明和均匀照明两种照射方式,光斑尺寸覆盖1微米到5毫米的广阔范围。配套的Metatest Suite测试软件包突破性集成了所有光学以及电学测试设备的控制功能,并且可以任意组合进行自定义的参数扫描,极大程度的简化了测试过程。E2 探针台还拥有众多配置选项,包括光致发光光谱(PL),电致发光光谱(EL)等测试模块。

 

主要配置*

探针座 4个,探针直径5微米,使用三同轴电缆连接
样品台 XYZR四轴位移功能,带真空样品吸附,可以快速抽出
显微镜 XYZ三轴平移,可以选配电动XY平移功能
显微镜 2倍,5倍,10倍,20倍,505个物镜以及11-5mm光圈
激光器 标配405nm520nm635nm单模保偏激光器,可以选配450nm488nm505nm650nm激光,激光可以进行模拟和数字调制,调制带宽大于100kHz
激光照明光路 匀强光斑照明模块,光斑直径8-200微米,可以增配聚焦光斑照明模块,光斑直径约1微米
光电测试系统 包含源表,前置放大器,信号发生器,示波器等硬件以及Metatest Suite测试软件包,电流测试分辨率100fA,最大电压±200V,瞬态光电流测试系统上升沿/下降沿50μs1nA电流),2μs(大于100nA电流)
选配功能 荧光光谱测试模块(405nm激发),吸收光谱测试模块,偏振测试模块,电致发光光谱测试模块,氙灯模块,紫外/红外无色差光路模块

* 详细参数请下载详细配置文件

 

E2 结构设计

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       探针台体,包含4个探针底座,样品台可以沿XYZR四轴移动,方便控制测量位置。样品通过真空吸附底盘吸附在样品台上,样品台可以快速抽出更换样品。

 

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       层叠式光路设计,可以安装最多4个光路模块,每个光路模块都可以实现不同的光学功能,例如耦合激光进入光学系统或者测量样品的荧光光谱。每层之间通过燕尾槽固定,可以快速扩展新的功能。

 

光电流测试功能

       E2 提供两种不同照明光斑类型,标准配置为匀化照明模块,可以将激光转化为均匀的小光斑照射在样品上,并且提供白色LED作为指示灯指示激光照射位置。均匀的光斑也方便计算测试中的光功率密度,光斑尺寸最小8微米。聚焦照明光斑则将激光直接聚焦在样品表面形成微小的高斯光斑,光斑尺寸约1微米,可以定位在指定的位置激发样品。

 

       Metatest Suite软件包将所有系统中的测试设备统一控制,并且可以尽心最多4个(2组)参数的参数扫描,从而可以一次性测量不同光强,不同电压下的光电流曲线。

 

测试示例 (a)改变光强测量器件输出曲线,(b)光照下样品的转移曲线

   (c)瞬态光电流测试,对于1nA的光电流,E2系统上升/下降时间仅50微秒(d)改变光强测探测器开关比

 

连续可调光源

氙灯模块

       mXenon氙灯模块采用了无色差光学系统,从而保证了紫外到红外一致的光谱分辨率以及更高的紫外光强,240-700nm波段光功率密度均大于20mW/cm2(光斑尺寸13.3 μm)。光学优化的快门和斩波器可以提供高速的开关速度(快门打开/关闭时间900 μs,斩波器打开/关闭时间1kHz20 μs)。

a300nm500nm闪耀光栅不同波长下的光功率密度,(b300nm500nm闪耀光栅的不同波长下的光谱,(c)斩波器开关速度,(d)快门开关速度

        电动衰减片轮除了可以通过软件调整输出光强,更具有恒功率输出模式,自动根据输出光波长调整光强,生成功率固定的照明光源。利用恒功率的光源,可以测量样品在指定光强下的响应率以及样品在不同波长激发下的I-V曲线。

(a)恒功率输出模式,在波长250-1100nm下,固定照明光功率密度15mW/cm2,输出功率稳定性3%,输出曲线和在波长350-650nm下,固定照明光功率密度50mW/cm2,功率稳定性1%。照明范围直径13微米,(b)在固定照明光功率密度15mW/cm2下测得硅探测器响应率曲线图(红线),蓝线为参考值,(c)不同波长下的I-V曲线

 

电致发光测试功能

       选配电致发光光谱模块可以测量样品的电致发光光谱,制冷型的背照CCD型光谱仪有着灵敏的光响应,可以测量样品的微弱发光,测量范围300-1000nm。在Metatest Suite软件包中,可以自动扫描样品的激发电压并且测量发光光谱。使用光电探测器可以在微秒尺度上测量样品发光的响应速度,根据样品的灵敏程度可以选择硅探测器或者PMT探测器测量样品发射的光强。

电致发光测试 (a) 为器件测试环境照片,(b)利用指示光纤显示了光谱测试位置,

           (c) 样品不同偏压下电致发光光谱,(d)电致发光的瞬态特性

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