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网站首页    E系列    E1-Vac 二维材料真空转移系统
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E1-Vac 二维材料真空转移系统

国内首创真空转移商用解决方案!
超长工作距离物镜,干法、湿法转移工艺兼容,原位高精度升/降温模块,全电动、高精度微操模块,超低真空环境,专业后续技术支持

      近年,二维材料范德华异质结在多领域受到广泛关注。为了制备多层异质结结构的二维半导体材料晶体管,需要将一层二维材料转移到另一层二维材料上。用普通方法转移的过程中,难免会遇到两层材料中含有少量气泡的问题;并且,某些二维材料会受到空气中水和氧的影响,使得材料本身的性能下降。两者使得器件性能大大下降。

E1-Vac真空二维材料转移系统解决两大问题:

√ 避免了水和氧气的问题

√ 避免在两层二维材料之间形成气泡

 

模块展示:

7轴电动滑台包括样品的电动XYZ方向平移,衬底的XY方向平移和旋转,物镜的Z轴升降。所有平移轴位移分辨率200nm,旋转台角度分辨率0.01度。7轴最大移动速度350um/s,XY方向与Z轴最小移动速度分别为2um/s和5um/s

背光灯设计,便于操作及观察样品

 

 超低真空环境, 30min内抽真空,真空值低至5Pa,有效避免转移过程中气泡的产生,可以制备高质量的异质结 

 观察窗设计,在抽真空条件下,从外部观察样品状态

 高分辨显微观察,1200万像素高灵敏度CMOS传感器,20倍超长工作距离物镜,31 mm工作距离,中间变倍,0.7~4.5倍,800~850倍放大效果。

 精确升降温控制,升温速度最高0.5℃/s,降温速度最高0.3℃/s,最高加热温度150度,升降温速度均可通过电脑控制。

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