E1-Vac 二维材料真空转移系统

       E1-Vac二维材料真空转移系统是国内首创真空转移商用解决方案，适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备。
由于在制备多层异质结结构的二维半导体材料晶体管的过程中，需要将一层二维材料转移到另一层二维材料上。在常规的大气环境中进行转移操作时，难免会遇到转移后两层材料中含有少量气泡的问题；并且，某些二维材料会受到空气中水和氧的影响，使得材料本身的性能下降。两者使得器件性能大大下降。

       E1-Vac真空二维材料转移系统通过集成超低真空环境，超长工作距离物镜，全电动、高精度微操模块，原位高精度升/降温模块等来实现真空环境下的材料转移工艺流程，解决材料转移的两大问题：

√ 避免了水和氧气的问题

√ 避免在两层二维材料之间形成气泡

主要配置*

四轴可调衬底载物平台：

       X/Y 两轴电动可调位移滑台，行程13 mm，定位精度0.2 μm，两轴移动最大速度350 μm/s，最小速度2 μm/s；绕z轴电动旋转台，最大移动速度±20°/s，最小移动速度±0.1°/s，定位精度0.1°，可旋转范围为±90 °，兼具连续旋转功能和单步旋转功能，尤其适用于堆叠形成双层扭曲石墨烯及其他需要精确控制堆叠方向的各类扭曲、错位异质结二维器件；水平手动倾斜角调节3~5 度。

载物平台加热最高温度为150 ℃，最低温度为10 ℃，升温速度最高为2 ℃/s，降温速度最高1.5 ℃/s，升降温速度可以达到0.01 ℃/s，振荡偏差小于0.2 ℃，稳定偏差小于0.03 ℃电脑端软件或温控面板操作，实时显示温度并且控制升降温速度。

四轴可调载玻片移动平台：

X/Y两轴电动可调位移滑台，行程25mm，定位精度0.2μm，两轴移动最大速度350μm/s，最小速度2μm/s；Z轴电动升降滑台，行程10mm，定位精度0.2μm，电动位移最大速度200μm/s，最小速度5μm/s；速度多档可选，兼具连续行进功能和单步行进功能，适用于异质结慢速贴合；具有手动快速旋转进样装置。

电动显微镜调焦Z轴：

Z轴电动升降滑台，用于真空状态下，原位调节物镜聚焦位置，便于观察转移过程中不同位置样品，行程10mm，定位精度0.2μm，电动位移最大速度350 μm/s，最小速度10μm/s。

       E1-Vac的所有电动位移滑台均可通过操纵手柄和电脑端软件进行速度设置及运动控制，软件同时可对照片进行旋转及透明化处理，极大地方便样品的查找及精确转移。

       超低真空环境，30 min 内抽真空，真空值低至5 Pa，有效避免转移过程中气泡的产生，可以制备高质量的异质结 。真空腔体带有观察窗设计，同时腔体内具有背光灯设计，便于在抽真空条件下，可从外部观察样品状态。

       显微观察系统采用连续可调变倍单筒显微镜，使用同轴照明光源，配备20 倍超长工作距离物镜，1200 万像素USB3.0 超高清CMOS 显微相机，综合放大倍数可达3500 倍（类似金相显微系统45 倍物镜放大效果）。可清晰显示硅片上的手撕单层石墨烯样品。提供显微相机操作软件，可进行照片拍摄，录制视频，测量样品尺寸，分屏对比等功能。