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网站首页    低维材料转移平台    E1-AUTO 电动Z轴低维材料转移系统
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E1-AUTO 电动Z轴低维材料转移系统

       E1-AUTO二维材料转移系统,适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备。转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内大角度旋转,是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。  

       E1-AUTO二维材料转移系统在E1-T基础上进行了电动升级,E1-AUTO兼容载玻片移动平台部分电动Z轴升降和手动操作,可以实现异质结界面缓慢贴合,减少转移过程中引入气泡等缺陷,影响界面输运特性。同时,E1-AUTO兼容衬底载物平台部分电动旋转和手动操作,可应用于堆叠形成双层扭曲石墨烯及各类扭曲、错位异质结器件。配套的电动控制软件可方便对电动台进行速度设置及运动控制,同时可对照片进行旋转及透明化处理,极大地方便样品的查找及精确转移。E1-AUTO还拥有众多配置选项,包括金刚石高压对顶砧转移模块,样品台高温模块,快速升降温模块等,同时支持手套箱内使用环境安装。

 

主要配置*

衬底载物平台 XY 方向两轴平移,行程 13mm; 水平倾斜角调节3~5度;样品台加热最高温度为150 ℃;样品台带样品真空吸附功能
衬底载物平台 电动旋转台,调节范围±90度,精度0.1度,可自动手动切换
载玻片移动平台 XY方向两轴手动平移,行程25mm; 快速旋转进样装置
载玻片移动平台 电动Z轴及控制器,行程25mm,精度0.5um,可自动手动切换
单筒显微镜 变倍比1:6.5,变倍范围0.7X-4.5X;20倍超长工作距离物镜,31 mm工作距离
显微相机 1200万像素USB3.0超高清CMOS显微相机;提供显微相机操作软件
高稳定显微观察支架 XY 方向两轴平移,行程 50mm大范围调节显微镜观察位置
控制机箱 系统电学控制集成,控制样品台加热、吸附功能,控制显微照明亮度调节
电脑 i3处理器,8G内存,1T硬盘,23英寸高清显示器
选配功能 金刚石高压对顶砧转移模块,样品台高温模块,快速升降温模块,手套箱内使用环境安装,配套阻尼式光学防震平台

* 详细参数请下载详细配置文件

 

标准配置

       ☆☆☆电动Z轴采用进口电机及控制器,行程范围25mm,最小行程精度0.5um。速度多档可选,兼具连续行进功能和单步行进功能,适用于异质结慢速贴合、手套箱内自动贴合等。通过精确控制Z轴运动速度,可以减少转移异质结贴合过程中形成的层间气泡,也可使得手套箱中Z轴的精细控制得以实现。

 

       ☆☆☆电动旋转采用进口电机及控制器,可旋转范围为±90°,精度可达0.1°。兼具连续旋转功能和单步旋转功能。尤其适用于堆叠形成双层扭曲石墨烯及其他需要精确控制堆叠方向的各类扭曲、错位异质结二维器件。

 

        ☆☆☆ E1-AUTO的电动控制软件可方便地对电动台进行速度设置及运动控制,同时可对照片进行旋转及透明化处理,极大地方便样品的查找及精确转移。

      显微支架稳定性高,保证设备操作状态下显微成像系统无抖动。同时可进行XY方向两轴平移,行程可达50mm,便于大范围调节显微镜观察位置查找样品。

 

显微成像光路系统                                                                             手撕单层石墨烯显微图片    

       连续可调变倍单筒显微镜使用同轴照明光源,配备20倍超长工作距离物镜,1200万像素USB3.0超高清CMOS显微相机,可清晰显示硅片上的手撕单层石墨烯样品。提供显微相机操作软件,可进行照片拍摄,录制视频,测量样品尺寸,分屏对比等功能。

 

       衬底载物平台XY 方向两轴平移,行程 13mm 水平倾斜角调节3~5度;样品台加热最高温度为150 ℃;样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵可通过电磁阀控制,真空泵流量为50L/min

 

       载玻片移动平台XY方向两轴手动平移,行程25mm,可保证样品位置的调节需求,且具有快速旋转进样装置。

 

选配功能

选配一:样品台高温模块

       样品台加热最高温度为220~240 ℃模块(带微型风冷)

 

选配二:快速升降温模块

       快速升降温模块可实现快速升降温控制,升温速度最高2/s,降温速度最高1.5/s,最高设定温度150度,最低设定温度10度。同时可实现精确升降温控制,升降温速度可以达到0.01°/s,最大偏差小于0.2℃,稳定温度偏差小于0.03℃。电脑端软件或温控面板操作,实时显示温度并且控制升降温速度。

 

选配三:手套箱内使用环境安装

         对于某些特殊的对环境要求高的材料如钙钛矿等的转移可配备转移系统手套箱内使用环境安装。

 

选配四:配套阻尼式光学防震平台

      配套的阻尼式光学防震平台,降低高倍操作下的环境扰动(长宽厚900*600*100mm台面长宽厚600*600*100mm台面等多种规格可选)

 

选配五:金刚石高压对顶砧转移模块

       通过特殊设计的夹具和样品台,可同时满足二维材料常规转移和金刚石对顶砧转移(该模块不含高压DAC,可根据客户尺寸进行样品台定制),可进一步满足二维材料高压实验样品的制备(含样品台高温模块)。

 

☆☆☆ 其他特殊需求可联系定制。

 

转移效果实拍图如下:

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