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网站首页    光电流测试系统    E2 光纤耦合光电测试探针台
幻灯片1

E2 光纤耦合光电测试探针台

兼容任意光纤耦合光源,可生成匀化激光光斑或者聚焦激光光斑,多种可选模块

 

产品概述:

E2光纤耦合光电测试探针台具有常规探针台全部功能(即电学测试)特别优化光学结构设计为您提供优秀的光电测试一站式解决方案

u 可兼容多种测试光源,类型包含激光器氙灯LED超连续激光等多种形式,波长兼容200-5500nm

u 搭载的低噪声光电流测试模块,可以满足多种光电流测试需求。配套的Metatest Suite测试软件包突破性集成了E2所有光学以及电学测试设备的控制功能,并且可以任意组合进行自定义的参数扫描,极大程度的简化了测试过程。

u 预配置的测试功能包括转移/输出曲线,光强-转移/输出电流曲线,频率-光电流曲线。以及多种可选测试功能,包括电致发光光谱(EL瞬态光电流(I-t)曲线、偏振光电测试等

 

 主要配置*: 

探针台

探针台体

3个磁力吸附高精度探针座,XYZ三轴平移,使用三同轴电缆连接探针直径5微米

样品台

XYZR四轴位移功能,带真空样品吸附,样品台可以快速抽出

光电特性耦合光路

物镜

2倍,5倍,10倍,20倍,50倍物镜各11~5mm可变光阑一个

显微可调支架

XYZ三轴位移功能(可选配电动XY位移功能)

激光器

标配405 nm520 nm635 nm多模激光器各一个,激光可以进行模拟和数字调制,调制带宽大于100 kHz

激光照明光路

标配波段兼容400-1100nm

匀化激光光斑,光斑直径5.4-480 um(可增配聚焦激光光斑照明,光斑直径约1 um

光电测试系统

包含源表,前置放大器,信号发生器,示波器等硬件以及Metatest Suite测试软件包。电流精度1fA,最大电压±200V,高速响应模块典型上升沿/下降沿500μs1nA电流),50μs(大于100nA电流)

其他选配功能

单波长激光光源LED波长可调氙灯模块,吸收光谱测试模块,电致发光光谱测试模块,荧光光谱测试模块(405nm激发),紫外/红外无色散光路模块,偏振测试模块

* 设备参数仅供参考,具体以报价文件为准

 

结构设计:

u 探针台包含3磁力吸附探针底座

u 样品台可以沿XYZR四轴移动,方便控制测量位置

u 样品通过真空吸附底盘吸附在样品台上,避免扎针时样品移位

u 样品台可以快速抽出,方便更换

u 样品样品台可以连接电压源或者接地

u 层叠式光路设计,可以安装最多4个光路模块,每个光路模块都可以实现不同的光学功能,例如耦合激光进入光学系统或者测量样品的荧光光谱

u 提供SMAFC/PCFC/APC光纤接口,可根据需求自行更换接口

u 快速衰减功能,通过六孔手动衰减片转轮加拉杆式OD3衰减片切换器,可覆盖6个数量级的激光光强衰减调节

u 每层之间通过燕尾槽固定,可以快速扩展新的功能。

u 显微成像部分可单独移动,实现在扎针状态下改变观察区域

 

 

光电流测试功能简介:

E2提供两种不同照明光斑类型,标准配置为匀化激光光斑,可以将激光转化为均匀的小光斑照射在样品上,并且提供白色LED作为指示灯指示激光照射位置。均匀的光斑也方便计算测试中的光功率密度,光斑尺寸最小5.4微米。聚焦激光光斑则将激光直接聚焦在样品表面形成微小的高斯光斑,光斑尺寸约1微米,可以定位在指定的位置激发样品。

img5

Metatest Suite软件包将系统中的所有测试设备统一控制,并且可以进行最多4个(2组)参数的参数扫描,可满足激光控制、直流IV测试、光电流波形测试等功能,一次性测得在不同光强、不同电压下的光电流曲线。

测试示例 a)改变光强测量器件输出曲线,(b)光照条件变偏压转移曲线c)瞬态光电流测试

d)改变光强测探测器开关比

 

mXenon 波长可调氙灯光源:

mXenon波长可调氙灯光源集成了氙灯、单色仪、快门、斩波器、电动连续衰减片,以满足变波长、变功率等复杂测试需求。采用了无色差光学系统,从而保证了紫外到红外一致的光谱分辨率以及更高的紫外光强240-700nm波段光功率密度均大于20 mW/cm2(光斑尺寸13.3 μm)。光学优化的快门和斩波器可以提供高速的开关速度(快门打开/关闭时间900 μs,斩波器打开/关闭时间1kHz20 μs)。

 

img8

a300nm500nm闪耀光栅不同波长下的光功率密度,(b300nm500nm闪耀光栅的不同波长下的光谱,(c)斩波器开关速度,(d)快门开关速度

 

通过Metatest Suite软件包控制功率计、衰减片和氙灯,可以做到任意波长功率输出,自动根据输出光波长调整光强,生成功率固定的照明光源。利用功率的光源,可以测量样品在指定光强下的响应率以及样品在不同波长激发下的I-V曲线。

a)恒功率输出模式,在波长250-1100nm下,固定照明光功率密度15mW/cm2,输出功率稳定性3%,输出曲线和在波长350-650nm下,固定照明光功率密度50mW/cm2,功率稳定性1%。照明范围直径13微米,(b)在固定照明光功率密度下测得Si探测器InGaAs响应率曲线图,(c)不同波长下的I-V曲线

 

电致发光测试功能:

选配电致发光光谱模块可以测量样品的电致发光光谱,制冷型的背照CCD 型光谱仪有着灵敏的光响应,可以测量样品的微弱发光,测量范围300-1100 nm。在Metatest Suite 软件包中,可以自动扫描样品的激发电压并且测量发光光谱。使用光电探测器可以在微秒尺度上测量样品发光的响应速度,根据样品的灵敏程度可以选择硅探测器或者PMT探测器测量样品发射的光强。

img10

电致发光测试 a 为器件测试环境照片,(b)利用指示光纤显示了光谱测试位置,(c 样品不同偏压下电致发光光谱,(d)电致发光的瞬态特性

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