E2 光纤耦合光电测试探针台
产品概述：
E2光纤耦合光电测试探针台具有常规探针台全部功能（即电学测试），和特别优化的光学结构设计，为您提供优秀的光电测试一站式解决方案。
u 可兼容多种测试光源，类型包含激光器、氙灯、LED、超连续激光等多种形式，波长兼容250-5500nm。
u 搭载的低噪声光电流测试模块，可以满足多种光电流测试需求。配套的Metatest Suite测试软件包突破性集成了E2所有光学以及电学测试设备的控制功能，并且可以任意组合进行自定义的参数扫描，极大程度的简化了测试过程。
u 预配置的测试功能包括转移/输出曲线，光强-转移/输出电流曲线，频率-光电流曲线。以及多种可选测试功能，包括电致发光光谱（EL）、瞬态光电流（I-t）曲线、偏振光电测试等。
主要配置*：
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探针台 |
探针台体 |
3个磁力吸附高精度探针座，XYZ三轴平移，使用三同轴电缆连接，探针直径5微米 |
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样品台 |
XYZR四轴位移功能，带真空样品吸附，样品台可以快速抽出 |
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光电特性耦合光路 |
物镜 |
2倍，5倍，10倍，20倍，50倍物镜各1个；1~5mm可变光阑一个 |
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显微可调支架 |
XYZ三轴位移功能（可选配电动XY位移功能） |
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激光器 |
标配405 nm，520 nm，635 nm多模激光器各一个，激光可以进行模拟和数字调制，调制带宽大于100 kHz |
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激光照明光路 |
标配波段兼容400-1100nm 匀化激光光斑，光斑直径5.4-480 um（可增配聚焦激光光斑照明，光斑直径约1 um） |
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光电测试系统 |
包含源表，前置放大器，信号发生器，示波器等硬件以及Metatest Suite测试软件包。电流精度1fA，最大电压±200V，高速响应模块典型上升沿/下降沿500μs（1nA电流），50μs（大于100nA电流） |
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其他选配功能 |
单波长激光光源、LED，波长可调氙灯模块，吸收光谱测试模块，电致发光光谱测试模块，荧光光谱测试模块（405nm激发），紫外/红外无色散光路模块，偏振测试模块 |
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* 设备参数仅供参考，具体以报价文件为准
结构设计：
u 探针台包含3个磁力吸附探针台底座
u 样品台可以沿XYZR四轴移动，方便控制测量位置
u 样品可通过真空吸附底盘吸附在样品台上，避免扎针时样品移位
u 样品台可以快速抽出，方便更换
u 样品样品台可以连接电压源或者接地
u 层叠式光路设计，可以安装最多4个光路模块，每个光路模块都可以实现不同的光学功能，例如耦合激光进入光学系统或者测量样品的荧光光谱等
u 提供SMA，FC/PC，FC/APC光纤接口，可根据需求自行更换接口。
u 快速衰减功能，通过六孔手动衰减片转轮加拉杆式OD3衰减片切换器，可覆盖6个数量级的激光光强衰减调节
u 每层之间通过燕尾槽固定，可以快速扩展新的功能。
u 显微成像部分可单独移动，实现在扎针状态下改变观察区域
光电流测试功能简介：
E2提供两种不同照明光斑类型，标准配置为匀化激光光斑，可以将激光转化为均匀的小光斑照射在样品上，并且提供白色LED作为指示灯指示激光照射位置。均匀的光斑也方便计算测试中的光功率密度，光斑尺寸最小5.4微米。聚焦激光光斑则将激光直接聚焦在样品表面形成微小的高斯光斑，光斑尺寸约1微米，可以定位在指定的位置激发样品。
Metatest Suite软件包将系统中的所有测试设备统一控制，并且可以进行最多4个（2组）参数的参数扫描，可满足激光控制、直流IV测试、光电流波形测试等功能，一次性测得在不同光强、不同电压下的光电流曲线。
测试示例 （a）改变光强测量器件输出曲线，（b）光照条件下变偏压转移曲线，（c）瞬态光电流测试
（d）改变光强测探测器开关比
mXenon 波长可调氙灯光源：
mXenon波长可调氙灯光源集成了氙灯、单色仪、快门、斩波器、电动连续衰减片，以满足变波长、变功率等复杂测试需求。采用了无色差光学系统，从而保证了紫外到红外一致的光谱分辨率以及更高的紫外光强。240-700nm波段光功率密度均大于20 mW/cm2（光斑尺寸13.3 μm）。光学优化的快门和斩波器可以提供高速的开关速度（快门打开/关闭时间900 μs，斩波器打开/关闭时间1kHz下20 μs）。
（a）300nm和500nm闪耀光栅不同波长下的光功率密度，（b）300nm和500nm闪耀光栅的不同波长下的光谱，（c）斩波器开关速度，（d）快门开关速度
通过Metatest Suite软件包控制功率计、衰减片和氙灯，可以做到任意波长恒功率输出，自动根据输出光波长调整光强，生成功率固定的照明光源。利用恒功率的光源，可以测量样品在指定光强下的响应率以及样品在不同波长激发下的I-V曲线。
（a）恒功率输出模式，在波长250-1100nm下，固定照明光功率密度15mW/cm2，输出功率稳定性3%，输出曲线和在波长350-650nm下，固定照明光功率密度50mW/cm2，功率稳定性1%。照明范围直径13微米，（b）在固定照明光功率密度下测得Si探测器和InGaAs响应率曲线图，（c）不同波长下的I-V曲线
电致发光测试功能：
选配电致发光光谱模块可以测量样品的电致发光光谱，制冷型的背照CCD 型光谱仪有着灵敏的光响应，可以测量样品的微弱发光，测量范围300-1000 nm。在Metatest Suite 软件包中，可以自动扫描样品的激发电压并且测量发光光谱。使用光电探测器可以在微秒尺度上测量样品发光的响应速度，根据样品的灵敏程度可以选择硅探测器或者PMT探测器测量样品发射的光强。
电致发光测试 （a） 为器件测试环境照片，（b）利用指示光纤显示了光谱测试位置，（c） 样品不同偏压下电致发光光谱，（d）电致发光的瞬态特性
