E2-Vac真空环境显微光电测试系统
兼容真空、非真空两种测试环境；兼容任意光纤耦合光源，可生成匀化激光光斑或者聚焦激光光斑，多种可选模块
E2-Vac真空环境显微光电测试系统具有常规探针台全部功能（即电学测试），和特别优化的光学结构设计，为您提供优秀的真空环境/非真空环境光电测试一站式解决方案。
- 可兼容真空测试和非真空测试环境，真空腔极限真空度5*10^-5mbar，适配涡旋干泵极限真空度＜5Pa，可升级分子泵（极限真空度8e-8mbar）。
- 超短探针空间，可兼容物镜共聚焦光路，可同时观察器件微观结构及激光形貌。
- 多物镜连续切换，最高支持50倍物镜，实现μm级聚焦光斑，且光斑尺寸可调；扎针状态下，可以移动激光光斑选择测试区域。
- 可兼容多种测试光源，类型包含激光器、氙灯、LED、超连续激光等多种形式，波长兼容250-5500nm。
- 高屏蔽三同轴接线方式，三同轴漏电流小于100fA。
- 搭载的低噪声光电流测试模块，可以满足多种光电流测试需求。配套的Metatest Suite测试软件包突破性集成了所有光学以及电学测试设备的控制功能，并且可以任意组合进行自定义的参数扫描，极大程度简化测试过程。
主要配置*：
| 探针台 | 探针台体 | 2个高精度探针座（漏电流＜100fA），1个高速探针座（漏电流＜10pA），XYZ三轴平移，行程25*50*10mm，精度5um，真空腔外操作，探针直径5微米 |
| 样品台 | 样品台直径25.4mm，带真空吸附孔，兼容真空测试和非真空测试环境；真空腔极限真空度5*10-5mbar | |
| 涡旋干泵 | 抽速10m3/hr，极限真空度＜5Pa（可增配分子泵：分子泵抽速90L/s，极限真空度8e-8mbar） | |
| 光电特性耦合光路 | 物镜 | 2倍，5倍，10倍，20倍物镜各1个；50X补偿物镜1个；1~5mm可变光阑1个 |
| 显微可调支架 | XYZ三轴位移功能（可选配电动Z位移功能） | |
| 激光器 | 标配405 nm，520 nm，635 nm多模激光器各一个，激光可以进行模拟和数字调制，调制带宽大于100 kHz | |
| 激光照明光路 |
标配波段兼容400-1100nm 匀化激光光斑，光斑直径4-300 um（可增配聚焦激光光斑照明，光斑直径约1 um），可安装可变光阑，光斑直径1-5mm连续可调 |
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| 光电测试系统 | 包含源表，信号发生器，示波器等硬件以及Metatest Suite测试软件包。电流测量分辨率1fA，最大电压±200V，高速响应模块典型上升沿/下降沿50μs（1nA电流），10μs（大于100nA电流） | |
| 其他选配功能 | 单波长激光光源、LED，波长可调氙灯模块，电致发光光谱测试模块，紫外/红外无色散光路模块，偏振测试模块 | |
* 设备参数仅供参考，具体以报价文件为准
结构设计：
- 样品台兼容真空测试和非真空测试环境
- 样品可通过真空吸附底盘吸附在样品台上，避免扎针时样品移位
- 探针台包含2个三同轴高精度探针台和1个SMA高速探针座
- 多物镜切换，可变换物镜选择激光照射光斑尺寸
- 涡旋干泵，提供真空测试环境
- 层叠式光路设计，可以安装最多4个光路模块，每个光路模块都可以实现不同的光学功能，例如耦合激光进入光学系统或者测量样品的荧光光谱等
- 提供SMA，FC/PC，FC/APC光纤接口，可根据需求自行更换接口。
- 快速衰减功能，通过六孔手动衰减片转轮加拉杆式OD3衰减片切换器，可覆盖6个数量级的激光光强衰减调节
- 每层之间通过燕尾槽固定，可以快速扩展新的功能
- 显微成像部分可单独移动，实现扎针测试过程中改变观察区域
光电流测试功能简介
E2-Vac显微光路采用正入射的入光方式，提供匀强光斑照明模块将激光或LED光源转化为均匀的小光斑照射到样品上，光学显微成像下通过物镜实现光斑聚焦，光斑大小4-300 um范围内可变，光斑均匀，到样品光功率密度可高达105 mW/cm2 （520nm多模激光）。可增配聚焦激光光斑照明模块，将激光直接聚焦在样品表面形成微小的高斯光斑，光斑尺寸约1微米。
E2-Vac系统配置了高屏蔽三同轴接线方式，提供了精准可靠的电学测试平台，三同轴漏电流小于100fA（利用半导体参数分析仪4200，实测20fA左右）。Metatest Suite 软件包将所有系统中的测试设备统一控制，可同时进行3个参量的测量和2组参数的参数扫描。光强可通过软件校准后在测试过程中连续变化，且测试过程中随时方便测量。
测试实例 漏电流测试
测试示例 （a）改变光强测量器件输出曲线，（b）光照条件下变偏压转移曲线，（c）瞬态光电流测试
（d）改变光强测探测器开关比
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