E1-G二维材料金相显微转移系统

       E1系列多功能二维材料转移系统是成熟的低维材料异质结器件转移商用解决方案，已在国内外众多院士、长江/杰青、青年千人等知名学者实验室得到应用，发表ACS Nano、Nano Energy、AM等高水平论文多篇，适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备，实现了低维材料转移的可视化操作。

       E1-G在保留了E1-T优异的转移集成操作的基础上，通过金相显微镜光学系统的升级，极高地提高了单层、多层及各类范德华异质结观察的分辨率及清晰度。

 

主要配置*

衬底载物平台	三轴可调；支持沿 XY 方向平移，行程 20mm；绕 z 轴手动调节旋转最大±90°；绕X轴和Y轴倾斜台，倾斜角度±2°，样品台加热最高温度为150℃，使用 PID 温度控制器，温度控制稳定性小于±1℃；样品台带样品真空吸附功能
载玻片移动平台	XYZ方向三轴可调，行程25mm；样品送入手动旋转台，粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°
单筒显微镜	5孔物镜转盘，安装5X、20X、50X复消色差物镜
显微相机	1200万像素高灵敏度CMOS传感器；提供显微相机操作软件
高稳定显微观察支架	支持沿显微镜独立沿 xy方向 50mm行程，可在二维材料贴合以后，大范围调节显微镜观察位置
控制机箱	系统电学控制集成，控制样品台加热、吸附，控制显微照明亮度调节
显示器	23.8英寸高清专业显示器
选配功能	光纤端面材料转移模块，样品台高温模块，快速升降温模块，手套箱内使用环境安装，配套阻尼式光学防震平台

 

 

标准配置

       ☆☆☆高性价比国产金相显微升级方案：95mm超长工作距离5、20、50倍物镜，标准工作距离90mm。明暗场落射照明器，带视场光阑，孔径光阑调节功能，6500K色温白色LED照明；10X目镜三目镜筒，带成像和观察切换功能，视场20mm。

 

       显微成像光路系统：由同轴照明系统，95mm超长工作距离5、20、50倍物镜，1200万像素CMOS显微相机，23.8英寸全高清专业显示器组成。1200万像素高灵敏度CMOS显微相机，像素尺寸1.85x1.85μm，传感器尺寸7.40x 5.55mm，USB3.0 传输；曝光时间0.1ms~ 15s，自动白平衡；提供显微相机操作软件，可进行照片拍摄，录制视频，测量样品尺寸，分屏对比等功能，支持电脑控制；工作温度-10~ 50 摄氏度，高速USB3.0 A公到B公镀金头数据线。通过显微成像光路系统，可清晰显示硅片上的手撕单层石墨烯样品。

    

     95mm超长工作距离5倍物镜下的效果图            95mm超长工作距离20倍物镜下的效果图          95mm超长工作距离50倍物镜下的效果图

 

        转移样品台：XYR三轴可调；XY 方向行程 20mm，系统分辨率0.002mm；绕 z 轴手动调节旋转±90°，测微器精细调节行程5°，调节精度1°左右；

        绕x轴和y 轴倾斜台，调节方式手动转轮，台面厚度20mm，倾斜角度±2°。用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度；

       样品台加热最高温度为240 ℃；

       样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵流量为35L/min。

       载玻片移动平台：XYZ三轴可调，80mm高稳定性台面，XY方向行程25mm，测微丝杆控制；Z轴为29mm直径百刻线微分头，便于精细升降操作，升降过程中样品无明显抖动；样品送入手动旋转台，台面直径100mm，粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°，定位精度1~ 2°。

 

选配功能

选配一：磁力吸附探针座及支架

 

选配二：电动精密位移模块及控制器

       电动Z轴采用进口电机及控制器，行程范围25mm，最小行程精度0.5um。速度多档可选，兼具连续行进功能和单步行进功能，适用于异质结慢速贴合、手套箱内自动贴合等。通过精确控制Z轴运动速度，可以减少转移异质结贴合过程中形成的层间气泡，也可使得手套箱中Z轴的精细控制得以实现。

       电动旋转采用进口电机及控制器，可旋转范围为±90°，精度可达0.1°。兼具连续旋转功能和单步旋转功能。尤其适用于堆叠形成双层扭曲石墨烯及其他需要精确控制堆叠方向的各类扭曲、错位异质结二维器件。

        METATEST电动控制软件可方便地对电动台进行速度设置及运动控制，同时可对照片进行旋转及透明化处理，极大地方便样品的查找及精确转移。

 

选配三：光纤端面材料转移模块

 

选配四：手套箱内使用环境安装

       对于某些特殊的对环境要求高的材料如钙钛矿等的转移可配备转移系统手套箱内使用环境安装。

 

选配五：配套阻尼式光学防震平台

       配套的阻尼式光学防震平台，降低高倍操作下的环境扰动（长宽厚900*600*50mm、600*600*50mm台面等多种规格可选）。

 ☆☆☆其他特殊需求可联系定制。

 

转移效果实拍图如下：

 

湿法转移操作步骤

A. 碱溶液中从基底上脱离出样品-PMMA             B. 样品+PMMA薄膜放置在E1系统转移              C. PMMA薄膜脱离转移支架，用丙酮洗去

薄膜，并将薄膜捞取至开口夹具片上                     模块上                                                             MoS2表面覆盖的PMMA

 

干法转移操作步骤

            A. 机械剥离MoS2样品                             B. 剥离后的MoS2粘附在PDMS上，使用             C. 加热样品，使MoS2脱离PDMS，转移至

                                                                           E1系统的微操模块转移样品                                目标衬底上，完成转移操作